氣體配管工作程序_修_

1、一般氣體SP1配管工作程序1.適用范圍:本程序乃適用于半導體生產工廠中所安裝的供輸一般氣體用之配管工作。2.氣體管路的種類:CDA, N2, O2, H2, He, Ar3.工作范圍:在這里所定義的管線涵蓋范圍由各種不同氣體的起始點連接至主管的Take off點。3.1 分段點分支閥(Main Line為止。(Submain Line止。3.2壓縮干空氣(CDA對壓縮干空氣而言,其管路在氣體流出點處需配有一干燥空氣出口之過濾器,整個管線一直完成至各生產機臺設備的連接點為止。3.3氮氣(N2分為PN2及GN2 :off點。3.4 氧氣(O2分為PO2及GO2 :off點。3.5氫氣(H2分為PH

2、2及GH2 :off點。3.6氦氣(He分為PHe及GHe :off 點。3.7氬氣(Ar分為PAr及GAr :off點。1.工作環(huán)境在工作現(xiàn)場需配有一臨時性潔凈棚,且所有配管工作的操作基本上必須在此區(qū)域內完成,以避免一些不當?shù)奈廴?。此潔凈棚必須維持且控制在以下的環(huán)境條件下(室外工作除外: 4.1 臨時性潔凈棚位置 潔凈度庫房 10000切割工作區(qū)域 1000焊接工作區(qū)域 1000條件 : 于焊接工作區(qū)域內,其溫度為 21°C , 相對濕度則為65%.以業(yè)主之無塵室環(huán)境為主。4.2 如何控制潔凈棚內的氣壓2.人員認證施工承商需針對本工程自動焊接需求,提出適當需認證人員,在第三方(本廠

3、為QAM的嚴格檢驗下,實施自動焊接認證。合格程度,由第三方編寫焊工編號并給于焊工職資,若無法通過Third party焊接認證者,不準于現(xiàn)場擔任焊接手工作。主要針對本工程手焊部分的手焊(主要是法蘭焊接認證程序同上3.工作完成之標準6.1 焊接工作則需使用彎管器或90° 的彎頭。工作開始之前?？蛇\送至現(xiàn)場; 任何管子與零件在切割及點焊或焊接諸如此類工作之進行前, 需確定其清潔度可維持的情形下始可拆封。99.999。端無法密合或欲焊管子平面錯邊時,應立即檢視重新處理。此道工序直接影響焊接的質量,需小心謹慎。2. 更換管材尺寸前現(xiàn)象。6.3 預先允諾管線行經路線 :為了避免由焊接工作的過程

4、中因不斷修正而導致的損失,管線所經的路線必須先經由客戶召集各承包商進行套圖,一但經業(yè)主確認無誤施工后,路線若須變更,則需由業(yè)主會同廠商再次會勘。6.4 強制性穿戴手套 :在進行每一個操作時必須穿上干凈無塵膠質手套,嚴禁使用裸手操作。如在施工中手套有破損或有骯臟時,應馬上更換新的無塵手套。7. 工作進行之步驟 :為了維持完成后的潔凈在所訂定之水平內,氣體供輸?shù)墓芫€工作必須盡可能地小心去完 成。7.1材料檢查材料一經遞送到施工單位則必須立即就其訂單規(guī)格來檢驗是否合格。7.2 臨時性潔凈棚現(xiàn)場臨時性潔凈棚其潔凈度較佳,因此所有的預作管線部份均需在臨時性潔凈棚內進行焊接。管線材料則需儲存于庫房中,以便

5、于管理。7.3機械材料7.4在開始進行工作前,需先檢查使用的工具是否清潔。7.5每一管線于切割時必定使用切管器且要避免小碎片進入管中。7.6切管:切管工作使用GF切管機或手動式CUTTER厚實,在進刀時只需超過管壁即可,不宜進刀太多,否則易造成切至起點時無法契合的狀況,影響點焊時無法密合。子表面有一圈切入印痕,此后緩緩旋轉手柄,慢慢切入,直到切斷。完成切管后以手擂二端進行管內、外壁的修除毛邊工作,以利點焊時二端管面密合兩端開口,并以塑料套膜包裝好儲存,直到需要安裝這些管線前再拆封。7.7 配管工作之預作7.8 管線支架的裝設可固定管線之處。7.9 管線架設工作7.10 使用自動焊接機的對焊法待墨漬干了之后才能貼上作業(yè)質量及聲譽7.11 如何焊接小口徑的配件(Micro FittingMicro Fitting需使用特殊夾具焊接之。8.檢驗8.1