高頻聲表面波器件基礎(chǔ)

1、高頻聲表面波器件基礎(chǔ) High frequency Surface Acoustic Wave DevicesHF-SAWD 第一部分 物理基礎(chǔ) 1 聲表面波 Surface Acoustic Wave 瑞利波 SAW (Rayleigh Wave) 偽表面波 pseudo-SAW： 漏波LSAW(Leaky SAW)， 表面橫波STW SAW-Surface Acoustic Wave2壓電材料作能量轉(zhuǎn)換載體 單晶：切型和傳播方向 石英 SiO2， 鈮酸鋰 LiNbO3， 鉭酸鋰 LiTaO3 多層結(jié)構(gòu)參數(shù)： 表面波聲速v0/vs 機(jī)電耦合系數(shù) k2 溫度穩(wěn)定性TCD3器件內(nèi)元件*叉指換能器

2、IDT (1965)、 多條耦合器、 反射柵陣和諧振腔、腐蝕溝槽 *引出電極、屏蔽電極 介質(zhì)膜 吸聲膠4聲表面波器件特點(diǎn)SAW 功能元件、 微電子技術(shù)批量生產(chǎn)、一致性、 體小無源、模擬數(shù)字應(yīng)用、 可諧波工作。pseudo-SAW 聲速高，工作頻率高； 機(jī)電耦合系數(shù)大，插入衰耗小，相對帶寬大； 溫度穩(wěn)定性更好； 表面較不敏感； 功率容量大。5器件性能 主要取決于材料、波型和叉指換能器幾何等 諧振器：反射柵諧振腔內(nèi)能量峰 濾波器：聲電轉(zhuǎn)換 周期叉指換能器的頻率選擇作用。 常規(guī)高插入衰耗濾波器 單向結(jié)構(gòu)中插入衰耗濾波器 諧振結(jié)構(gòu)低插入衰耗濾波器 錐形寬帶中插入衰耗濾波器 阻抗元件型濾波器：單端對諧振

3、器組合 延遲線 相關(guān)器 傳感器6器件封裝 金屬外殼、 塑封、 陶瓷表面貼裝7應(yīng)用 軍用： 雷達(dá) 軍事通信等 民用： 音視頻傳輸 無線通信 遙控遙測等Typical ApplicationssensorDelay lineConvolverOscillatorfilter第四部分 產(chǎn)品技術(shù)高頻聲表面波器件主流亞微米工藝技術(shù)基片清洗*電極蒸發(fā)* 光 刻電極刻蝕裝 架劃 片頻率修正芯片測試引線鍵合予 測封 帽老化篩選入庫成品測試一、目前產(chǎn)品技術(shù)水平 10.25um 4 in圓片工藝； 2諧振器和濾波器， 器件工作頻率為 (502500)MHz， 主要為低插入衰耗器件； 3基本為SMD型； 4主要產(chǎn)品

4、成品率大于80%； 5產(chǎn)品可靠性水平： 1000Fit。 1諧振器： 諧振器標(biāo)稱諧振頻率及其偏差； 最大諧振損耗 器件電容值范圍 優(yōu)值(Q)：有載和無載 2濾波器 標(biāo)稱中心頻率 帶寬：3dB帶寬 有效工作帶寬 插入衰耗 群延遲波動 阻帶抑制 三、產(chǎn)品規(guī)范Q/UD 485-1999 民用高頻聲表面波器件總規(guī)范Q/UD 486-1999 民用高頻聲表面波器件詳細(xì)規(guī)范 NDR系列聲表面波諧振器Q/UD 487-1999 民用高頻聲表面波器件詳細(xì)規(guī)范 NDF系列聲表面波濾波器Q/UD 603.1-2010 有質(zhì)量評定的聲表面波（SAW）濾波器 第1部分：總規(guī)范Q/UD 603.2-2010 有質(zhì)量評定

5、的聲表面波（SAW）濾波器 第2部分：使用指南Q/UD 604.1-2010 聲表面波（SAW）諧振器 第1部分：總規(guī)范Q/UD 604.2-2010 聲表面波（SAW）諧振器 第2部分：使用指南 四、高頻聲表面波器件技術(shù)關(guān)鍵 1基片的壓電效應(yīng) 熱 電荷狀態(tài) 2叉指換能器幾何 膜厚比 條縫比 3金屬膜均勻和可控 4表面 5封裝 6可靠性 Surface Acoustic Wave Filterswith Applications to Electronic Communications and Signal Processingby David Morgan (2007) Surface Aco